四(二乙氨基)锆
产品类别:
催化剂及助剂/催化剂/其它工业催化剂英文名称:
Tetrakis(diethylamino)zirconiumCAS NO:
13801-49-5分 子 量:
379.7396EC NO:
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中文名：四(二乙基氨基)锆(IV) 外文名：Tetrakis (diethylamido) zirconium (IV) 化学式：Zr[N(CH2CH3)2]4 分子量：164.36 CAS号：13801-49-5 熔点：<-20 °C 沸点：128 °C 闪点:：54 °F 密度：1.026 g/mL at 25 °C (lit.) 外观：黄色液体 存储条件：2-8°C
| 品名: | 四(二乙氨基)锆 |
|---|---|
| 用途: | 四(二乙基氨基)锆(IV)在CVD、ALD、PEALD工艺中常用于生长ZrO2的前驱体，在45nm晶体管制备中代替二氧化硅，可以显著减少漏电量，是COMS和DRAM的high-k绝缘材料；可作阻变存储器的介质层前体；可作锂离子电池正极包覆沉积前驱体。此外，也可用于制备特种陶瓷；制备桥联茂金属化合物的催化剂。 |
| 别名 | 四(二乙氨基)锆 |